簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="鉭"


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    鉭膜之機械性質研究-楊氏係數、硬度與薄膜應力
    • /97/ 碩士
    • 研究生: 江秉鴻 指導教授: 鄭偉鈞 任盛源
    • 本研究是利用磁濺鍍方式將單層鉭(Tantalum)薄膜沉積於Corning 0211玻璃基板上。樣品製備完畢,隨後進行PSC應力分析儀分析試片曲率半徑,進而計算薄膜應力值;奈米壓痕試驗儀得到薄膜楊氏…
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